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基礎(chǔ)信息Product information

產(chǎn)品名稱：

2020SR非接觸式單點薄層電阻測試儀

產(chǎn)品型號：

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

所在地：深圳市

更新時間：2024-11-12

產(chǎn)品簡介：

2020SR非接觸式單點薄層電阻測試儀是一種非接觸式單點薄層電阻測量系統(tǒng)。該設(shè)備包含一個渦流傳感器組，可將微弱電流感應(yīng)到導電薄膜和材料中。樣本中的感應(yīng)電流會產(chǎn)生與測量對象的薄層電阻相關(guān)的電磁場。

產(chǎn)品特性Product characteristics

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	進口
應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子,綜合

2020SR非接觸式單點薄層電阻測試儀

EddyCus® TF lab 2020SR 是一種非接觸式單點薄層電阻測量系統(tǒng)。該設(shè)備包含一個渦流傳感器組，可將微弱電流感應(yīng)到導電薄膜和材料中。樣本中的感應(yīng)電流會產(chǎn)生與測量對象的薄層電阻相關(guān)的電磁場。該技術(shù)獨立于表面特征或形態(tài)。此外，它不需要任何類型的充分樣品接觸或準備，例如從 2 點或 4 點探針測試（2PP、4PP）或霍爾效應(yīng)或范德堡測量中得知。它既不需要設(shè)置測試結(jié)構(gòu)，也不受表面粗糙度或非導電封裝或鈍化層的影響。此外，測量不會對測試的薄膜產(chǎn)生物理影響。由于存在機械磨損，渦流儀器具有較長的使用壽命。它獨立于接觸質(zhì)量和高速，可實現(xiàn)高重復(fù)性和準確性，有利于研發(fā)和測試實驗室中各種薄膜的系統(tǒng)質(zhì)量保證。 EddyCus 工具可以由具有各種數(shù)據(jù)記錄和導出功能的 SURAGUS 軟件驅(qū)動，也可以由 SURAGUS 軟件開發(fā)套件驅(qū)動的客戶軟件驅(qū)動。

軟件和設(shè)備控制

1、非常人性化的軟件

2、直觀的觸摸顯示屏導航

3、實時測量薄層電阻和層厚

4、軟件輔助手動映射選項

5、各種數(shù)據(jù)保存和導出選項

2020SR非接觸式單點薄層電阻測試儀的數(shù)據(jù)表

測量技術(shù)	非接觸式渦流傳感器
基質(zhì)	箔、玻璃、晶片等。
基底面積	8英寸/ 204毫米x 204毫米(三面開口)
最大值樣品厚度/傳感器間隙	3 / 5 / 10 / 25毫米(由最厚的樣品確定)
金屬薄膜(如銅)的厚度測量范圍	2納米–2毫米(根據(jù)薄層電阻)
設(shè)備尺寸(寬高比)	11.4英寸x 5.5英寸x 17.5英寸/ 290毫米x 140毫米x 445毫米
重量	10公斤
更多可用功能	薄層電阻測量/金屬厚度監(jiān)控器

	VLSR	LSR	MSR	HSR	VHSR
	6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy
Range [Ohm/sq]	0.0001 – 0.1	0.1 – 10	0.1 – 100	10 – 2000	1,000 – 200,000
Accuracy / Bias	± 1%			± 1 – 3%	± 3 – 5%
Repeatability (2σ)	< 0.3%			< 0.5%	< 0.3%